高温电炉真空系统

高温电炉中直空系统适用干真空度在3X10~~1333Pa范围的真空热处

理炉。中真空系统在真空热处理炉中应用最广泛，其通常由两级真空

泵机组组成。初级泵多采用旋转机械泵或滑阀式机械泵，主泵为机械

增压泵(罗茨泵)或油增压泵

高温电炉高真空系统

高真空系统适用于真空度在6.6x10~~1333X10。Pa范围的

高温电炉真空热处理炉，如真空退火炉、真空钎焊炉，通常由三级真空泵机组

组成，主泵通常采用油扩散泵、离子泵，初级泵大都也是采用旋转机

械泵或滑阀式机械泵。